Vollquarzoptiken für kurze Pulse
Kurzpuls- (KP) und Ultrakurzpulslaser (UKP) benötigen aufgrund ihrer hohen Strahlqualität und Pulsspitzenleistung speziell optimierte F-Theta Objektive. Um die Zerstörschwelle des Objektivs den hohen Anforderungen anzupassen, werden hauptsächlich Vollquarzlinsen verwendet. Die Zerstörschwelle von Quarzlinsen liegt deutlich höher als bei Standardgläsern, zudem sind die thermischen Auswirkungen enorm reduziert. Trotzdem ist darauf zu achten, dass keine internen Geister in den Linsenelementen bzw. auf den Scan-Spiegel auftreten.
Sill Optics bietet für KP und UKP Laser ein quasi-telezentrisches F-Theta Objektiv an, mit einer Brennweite von 163 mm. Der Einfallswinkel des Laserstrahls beträgt am Rand des 90 mm x 90 mm großen Scanfeldes weniger als 5°. Optimiert für den Wellenlängenbereich von 515 nm - 545 nm (S4LFT3161/292) beträgt die minimale Fokusgröße im Scanfeld ca.15 µm, bei einem Strahldurchmesser von 10 mm. Für den infraroten Bereich von 1030 nm - 1090 nm (S4LFT3162/328) beträgt für einen Strahldurchmesser von 15 mm die Fokusgröße ca. 20 µm.
Um noch kleinere Fokusgrößen zu erreichen, wurde zudem ein telezentrisches Objektiv mit einer Brennweite von 100 mm entwickelt, welches bei einer Feldgröße von 35 mm x 35 mm einen Einfallswinkel unter 1,4° realisiert. Diese Angaben gelten für einen Strahldurchmesser von 10 mm. Das S4LFT4010/292 ist optimiert für den Wellenlängenbereich von 515 nm - 545 nm und erreicht eine Fokusgröße von ca. 9 µm. Für den infraroten Bereich von 1030 nm - 1090 nm ist das S4LFT4010/328 ausgelegt. Es besitzt eine Fokusgröße von ca. 18 µm.
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